山東凈化無塵車間凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級,現在2010年版的GMP凈化車間已經不用這個叫法了,分為ABCD等級,分別相對應于98版的幾個等級,經過檢測區域內的塵土粒子數、浮游菌數、沉降均數點評凈化等級,各個等級有不同的要求,凈化等級分靜態、動態兩種。
(一)潔凈室之等級
世界各國均有自定規格,但普遍仍是用美國聯邦規范209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國擬定規范作介紹與相互比較。
209E與209D等最大之不同在于209E表明單位增加了公制單位,潔凈室等級以‵M′字頭表明,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公制單位之規范化,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表明,取指數為之,若微塵粒子數介于前后二者徹底冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表明。 潔凈網z:Wg1pj
(二)山東凈化無塵車間潔凈室之定義
潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或潔凈室。
「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦便是不論外在之空氣條件怎么改變,其室內均能俱有保持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
山東凈化無塵車間潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中出產、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。
(三)潔凈室控管之項目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2. 能避免微塵粒子之發生。
3. 溫度和濕度之控制。
4. 壓力之調理。
5. 有害氣體之排除。
6. 結構物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防制。
8. 電磁攪擾預防。
9. 安全因素之考慮。
10. 節能之考量。