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山東凈化無塵車間控制溫濕度的作用?

文章作者:admin發布時間:2020-07-02 11:38瀏覽次數:

      為什么要在山東凈化無塵車間控制溫度和濕度? 主要功能和具體措施是什么?
      山東凈化無塵車間的溫度和濕度主要取決于您的加工技術要求。 在加工技術條件下,應首先考慮人們的舒適度。 隨著空氣清潔度要求的提高,工藝對溫度和濕度的要求也越來越高,并且必須達到一定的溫度和濕度水平。 例如,在用于生產大規模集成電路的光刻曝光工藝中,作為掩模材料的玻璃和硅晶片的熱膨脹系數之間的差異越來越小。 對于直徑為100 um的硅晶片,溫度升高1度將導致線性膨脹0.24um,因此需要±0.1度的恒定溫度,并且濕度值通常較低,因為人們會污染 尤其是出汗后的產品這是一個怕鈉的半導體車間。 這種車間不應超過25度。 高濕度會引起更多問題。 當相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會形成冷凝水。 如果發生在精密設備或電路中,會引起各種事故。 相對濕度為50%時,容易生銹。
      但是,山東凈化無塵車間對于大多數清潔空間,為了防止外部污染進入,必須使內部壓力(靜態壓力)高于外部壓力(靜態壓力)。 保持壓差一般應符合以下原則:
      1.清潔度高的空間中的壓力高于清潔度低的相鄰空間中的壓力。
      2.連通的潔凈室之間的門應打開至潔凈度較高的房間。
      3.清潔空間中的壓力高于非清潔空間中的壓力。
       壓力差的維持取決于新鮮空氣量,新鮮空氣量必須補償在該壓力差下從間隙泄漏的空氣量。 因此,壓差的物理含義是當泄漏(或滲透)空氣量穿過潔凈室中的各個間隙時的阻力。
       山東凈化無塵車間對于湍流潔凈室,主要采用空氣稀釋來減少室內污染程度,因此主要采用換氣次數的概念代替速度的概念,但是室內空氣速度也有以下要求;
      1.供氣口出口處的風速不要太大。 與簡單的空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角更大。
      2.氣流速度(如側進紙時的返回速度)不應太大,以免因表面顆粒被吹回而造成再污染,這通常不適用于0.2m / s的大干燥速度。山東凈化無塵車間